TZ6000——无损晶片质量测量工具化合物半导体产业

2023年3月18日
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ACE的解决方案、台湾、领袖和提供者在定制的测试解决方案以满足客户需求的电子元件,生产设备和系统,推出了TZ6000——无损晶片质量测量工具化合物半导体产业。合并从TeraView TeraPulse Lx技术,联合王国,TZ6000达到无损晶片质量的测量厚度、折射率、电阻率、介电常数,表层和次表层的缺陷在指定位置和整个晶圆扫描地图。

JC Chen博士研发高手解决方案的副总裁,评论道“半导体晶片的质量决定了最大可实现的转换效率为最终的设备。地下损失(SSD)的半导体晶圆表面加工过程中很容易诱发包括粗磨,细磨,化学机械抛光。当前晶片检查系统,依赖于对光学/红外/紫外检测分析晶圆的表面性质但不能SSD,由于其较低的穿透深度。(太赫兹)太赫兹波高穿透深度在半导体晶片硅、碳化硅和氮化镓。我们开发了THz-based TZ6000满足市场需要的无损检验化合物半导体晶片”。

菲利普博士f .聚餐的应用程序和首席科学家TeraView,评论道“TeraPulse Lx系统TeraView世界领先的产品族的太赫兹分析。它被设计来满足需求的材料检验成像或光谱分析应用程序,和是理想的化合物半导体。系统的模块化体系结构和TeraView专利laser-gated光导发射器和探测器为用户提供的灵活性和可扩展性。该系统还拥有一个行业领先的3200 ps延时线,为标准”。

ACE的CEO史蒂夫•许解决方案,评论“王牌的解决方案是领先的公司在提供电子精密测试、集成服务和解决方案。这是很好的机会合作与TeraView TeraPulse Lx模块合并到无损TZ6000系统晶片质量检验。TZ6000具有较高的灵活性为各种大小和形式的晶片。是提供TeraView独特的THz-TDS探测器同时测量多个参数的薄片鉴定。TZ 6000有一个用户友好的和图形演示软件在晶片制造过程质量检验和研发。”

TeraView首席执行官唐Arnone博士评论道“这是另一个首先从TeraView与ACE密切合作解决方案开发这个产品,我们很相信这个产品将设定一个新的标准在化合物半导体晶片质量分析和缺陷检查。TeraPulse Lx系统设计一个轻量级的紧凑的核心单位,允许方便地点之间的运输。整合与TeraView TeraPulse Lx模块,我们可以满足日益增长的需求的化合物半导体晶片行业这种产品的。”

图像- - - - - -左:与TeraPulse Lx TZ6000系统整合;中间:ACE的CEO史蒂夫•许解决方案。右:菲利普博士聚餐TeraView的应用。

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ACE的解决方案,有限公司

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TeraView

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