技术相对较新的失效分析,比如time-correlated光子计数、光电探测、抗反射涂层(AR),纹影显微镜,和超导量子干涉(鱿鱼)设备被用于创建更快、更强大的工具来满足日益困难的挑战在失效分析。本文综述最近的进步和研究在故障隔离和电路维修。

电路维修,故障隔离,扫描设计
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1999年
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半导体晶圆
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