二次离子质谱(SIMS)通过轰击固体样品表面的离子,释放带电原子和分子物种,然后收集和分析。这篇文章解释说,西姆斯有能力检测元素周期表中的所有元素除了固有的深度分析能力,使其不可或缺的工具,描述和分析半导体元器件和材料。它还介绍了几个应用实例。

深度剖析,元素分析,离子质谱仪,二次离子质谱
这些内容只是作为一个PDF。
版权©ASM国际®199beplay体育官网地址9
1999年
beplay体育官网地址
主题
离子质谱仪 半导体晶圆 二次离子质谱
您目前没有访问这些内容。