能量色散x射线光谱在微电子失效分析

电子设备失效分析通常始于电气测试,其次是目视检查通过光学显微镜,扫描电子显微镜检查。当成像揭示了需要确定材料的组成、缺陷、和可疑污染物,产生的电子束扫描电镜可以用来获得必要的信息。这篇文章解释说,这是方法背后的基本概念被称为能量色散x射线能谱(EDX)和它的广泛使用的关键。此外,本文提出了三个例子展示了SEM / EDS测量失败帮助分析师识别人类污染物死样本,确定一个粒子源晶片嵌入电影堆栈,并得出结论,主要从焊接飞溅模具粘合粗加工造成丝焊。