本文研究的一些主要力量重塑微电子行业。它开始于行业工作的总结。然后描述了经济、处理和设备物理挑战迫在眉睫的地平线上,解释了该行业正准备迎接他们。它也讨论了这些变化对失效分析的影响。

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1999年
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半导体晶圆
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