一个新的和改进的样品制备技术是由王。这种技术使用一个无伤大雅的90°旋转仪器的一小部分的标本原始网格利用静力。所有样品制备步骤,包括薄片创建和样品倾斜,可以实现在一个单一的过程。过程监测的高分辨率FIB仪器保证100%的成功率。图1显示了一个3 d TEM样品的扫描电子显微镜图像和两个旋转部分。提升式示例(原TEM样品放在碳膜。

三维透射成像,离子铣,样品制备,静态力
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2008年
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主题
样品制备 透射电子显微镜法 半导体晶圆
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