失效分析和扫描光学显微镜

扫描光学显微镜(索姆)的力量在于能够直接的一小点光集成电路,产生photocarriers和热在一个局部区域的电路。光子能量和热影响电路的电流-电压特性以不同的方式,根据缺陷的存在和地方材料属性。这篇文章解释了光束与半导体和金属以及它们如何影响电路的电流-电压特性和设备。它描述了SOM的基本物理测量,提供了静态和动态SOM技术的例子,并讨论了新兴的应用程序。