动态激光刺激是广泛应用于软的通过/失败的映射模式缺陷定位。最近的改进,包括参数映射和多参数采集,大大增加的信息量,可以提取DLS测量。本文解释了在哪里以及如何以及他们如何使用这些新技术可能会进一步改善。

缺陷定位,动态激光刺激,参数DLS
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2010年
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半导体晶圆 测试方法评估
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