本文讨论FIB-based原位提升式的实践,一个样品制备方法,已被证明对失效分析特别有用。它解释了样品正在为范围广泛的TEM技术,包括全息术、断层、倾角环形暗场扫描、和电子能量损失谱。在大多数情况下,实现最优质量需要使用备用FIB磨角,在建立过程中,侧面,背面铣,所有的讨论。

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2011年
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主题
样品制备 透射电子显微镜法 半导体晶圆
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