本文介绍扫描离子显微镜,解释它如何克服了扫描电镜的一个最大的局限性,即空间分辨率之间的权衡和景深,同时提供更多的表面细节,各种小说和熟悉的对比机制,以及潜在的新的微量分析技术,结合纳米空间分辨率和单一的单层敏感性。除了描述扫描离子显微镜的功能,本文还地址样品收费的问题和潜在的物理伤害,可以从离子束辐照结果。

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2012年
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主题
离子显微镜 半导体晶圆
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