新兴技术在原子力显微镜:金刚石铣和静电力显微镜

原子力显微镜是一个一致的因素在过去十年的进步IC nanoprobing和失效分析。在那个时候,许多新的原子力测量技术采用了集成电路分析社区,包括扫描电导、扫描电容,脉冲电流电压,capacitance-voltage光谱学。最近,两个新技术的出现:钻石探头铣和静电力显微镜(EFM)。作为这篇文章的作者解释,钻石使用原子力显微镜探针铣削是一种很有前途的新方法原位,本地化,ICs的精密机构扁平化,而主动EFM是本地化的无损替代EBAC显微镜在集成电路分析。