等离子体聚焦离子束(PFIB)系统可以生成离子束流与更高的电流,因此能够去除大卷的材料以快得多的利率仍保持精确地控制光束和铣削行动。这篇文章解释了PFIB的改进的性能是导致新的应用程序在减少层级,deprocessing和特定站点失效分析。

浆纱切片,减少层级,PFIB铣,等离子体聚焦离子束,特定场地分析
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2016年
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主题
样品制备 半导体晶圆
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