正电子能谱可以识别缺陷深处金属和半导体的分辨率比单个原子晶格的网站。本文讨论的基本原则和实现正电子湮没谱学和一个关键的发展使其更半导体应用程序更有用的工具。

正电子束流能谱,正电子的交互,晶格缺陷
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2017年
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主题
晶体缺陷 半导体晶圆 无损检测 光谱学
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