这是一个illumination-sensitive失败的案例研究。由于扫描光学显微镜的不可用,使用不同的方法进行故障隔离根据可用的设备。通过发射显微镜的结合、FIB隔离机械探测,和深入的电路分析,问题的根源并确定失效机理。

发射显微镜,FIB隔离,illumination-sensitive失败,机械探测
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2000年
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光电发射电子显微镜 半导体晶圆 根本原因分析
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