本案例研究描述了失效分析人员在近一年的电介质膜开裂原因调查中遇到的困难和挑战。尽管微电子领域的趋势是使用越来越昂贵和复杂的设备，但这项调查只使用了扫描电镜和光学显微镜观察，加上持续的侦探工作，最终发现了原因。

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制造缺陷 扫描电子显微镜 钝化
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