实验评估微机电系统(MEMS)测试其功能和材料属性。这些实验提供知识和洞察MEMS失效模式和潜在的途径来提高MEMS器件的寿命。本文演示了使用光学显微镜和SEM分析来确定在MEMS设备故障的各种原因。

光学显微镜,微机电系统,扫描电镜分析
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2000年
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扫描电子显微镜 光学光学显微镜 半导体晶圆
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