提高x射线探测器技术仍然是一个关键的需要在半导体行业,特别是对于high-spatial-resolution x射线微量分析使用lowbeam-voltage场发射扫描电子显微镜(FE-SEMs)。为了应对这种需求,一个原型微热量计能量色散光谱仪。本文讨论了新工具的功能,展示了其在薄膜和粒子分析使用。它还讨论正在进行的开发工作和未来发展。

粒子分析,微热量计EDS能谱仪,空间分辨率,薄膜分析,x射线探测器
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能量色散x射线光谱仪 半导体晶圆
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