让其它提升(EXLO)技术依靠范德华力FIB研磨标本转移到各种类型的航空公司使用玻璃探针显微操纵器。本文描述了一些最新的EXLO站点特定的扫描透射电子显微镜技术,包括使用开槽half-grids和真空辅助提升为建立过程分析。

让其它提升,开槽half-grids,阀杆分析,真空辅助EXLO
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2018年
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主题
样品制备 扫描透射电子显微镜 半导体晶圆
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