原位提升(EXLO)技术依靠范德华力，利用玻璃探针微操作器将FIB研磨后的试样转移到各种类型的载体上。本文介绍了一些最新的EXLO技术，用于特定位置的扫描透射电子显微镜，包括使用开槽半网格和真空辅助提升平面视图分析。

移地举升，开槽half-grids，阀杆分析，真空辅助EXLO
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样品制备 扫描透射电镜 半导体晶圆制造
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