用不可靠的组件构建可靠系统的问题通常通过冗余和提前退役的组合来解决。本文评估了智能故障预测系统的潜力，该系统更多地依赖于诊断数据和分析，而不是内置冗余和昂贵的替换。

数据分析，诊断数据，故障预测，机器学习，可靠性
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半导体晶圆制造 可靠性建模与仿真
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