扫描声断层扫描(坐)被广泛用于检测电子设备中的空洞和分层等缺陷。在这篇文章中,作者解释他们如何改善的空间分辨率和检测灵敏度坐在从传统的压电探头切换到一个电容式微型机械超声波换能器(CMUT)和通过脉冲压缩信号处理。他们也出现例子展示改进可以探测多层堆栈中的很小的缺陷和BGA包是否到传输或反射成像模式。

BGA包,电容式超声换能器,缺陷检测,扫描声层析成象,堆叠标本
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2020年
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超声波传感器 电子封装 扫描声学显微镜 半导体晶圆 决议
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