本文简要介绍了STEM-in-SEM，讨论了优点和缺点，探测器技术的最新进展，以及4D STEM-in-SEM的出现，4D STEM-in-SEM是一种相对较新的方法，使用在不同光栅位置记录的衍射图案来增强选定感兴趣区域的离线图像。

4 d茎，衍射模式，电子成像，STEM-in-SEM，透射探测器
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