系列中第一个,本文描述了如何精确控制剩余的硅厚度(RST)通过机械表面的调整配置文件使用多点厚度测量。这解释了为什么多点厚度测量是必要的,并讨论了硅厚度测量的现实。小心处理,清洗,RST测量,样品可以可靠地处理50μm厚度变化的+ / - 2.5μm在大多数的死亡。

模具安装,死变薄,剩余的硅厚度,样品安装,表面轮廓,厚度测量
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2022年
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电子封装 样品制备 磨 半导体晶圆 表面平面度
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