本文讨论了阻碍从电子元件中生产带有偏差的TEM样品的样品制备挑战，以及缓解这些问题的策略。

聚焦离子束铣削，原位瞬变电磁法偏置，样品制备，STEM EBIC成像
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主题
样品制备 扫描透射电镜 半导体晶圆制造
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