单光束接触感应电流(SCOBIC)是一种变异的OBIC失效分析技术,只需要一个点的接触被检查的结。本文讨论了这种新方法的基本原理,以及它如何与OBIC的测量性能。它还提供了示例展示如何使用SCOBIC分析CMOS设备从前面和背面不需要复杂的FIB和探针程序。

缺陷定位,电活性缺陷,OBIC分析,单光束诱导电流接触
这些内容只是作为一个PDF。
版权©ASM国际®200beplay体育官网地址1
2001年
beplay体育官网地址
主题
半导体晶圆
您目前没有访问这些内容。