光子发射显微镜(PEM)已被证明是一个强大的工具为故障隔离和很好地适应了不断变化的技术和新兴的需求。在本教程中,作者描述光子发射的基本原理,典型的PEM系统的基本要素、程序参与各种类型的故障诊断。他们也广泛的光子释放缺陷进行分类并解释如何使用PEM背后倒装芯片封装设备的分析和诊断时间。

背后的分析,电气缺陷,光子发射显微镜,诊断时间
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2003年
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主题
光电发射电子显微镜 半导体晶圆
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