摘要
本文介绍了两种能够显著提高扫描电子显微镜成像分辨率的创新方法:扫描电子显微镜中的扫描透射电子显微镜(STEM-in-SEM)和前向散射电子成像(FSEI)。这两种方法都可以在任何SEM中使用特殊的样品支架来实现。不需要其他修改。文章中给出的测试结果表明，在薄片、未涂覆的多晶硅栅极和光刻胶中，1到2纳米的分辨率是可能的。
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