装配过程-设备表面静电放电杀手和FA挑战

在组装后的最终测试中发现的一系列故障导致分析人员长期寻找原因，结果是一种不寻常的静电放电(ESD)形式。大多数ESD对ic的影响是通过引脚发生的。几乎所有的ESD模型，包括广泛使用的人体模型、充电设备模型和机器模型，都是基于这一假设。然而，正如这个案例研究所证明的那样，钝化晶圆和未包装的模具也容易受到ESD损坏。作者解释说，尽管这种类型的故障很难诊断，但他们能够通过锁定微热成像来确定原因，并排除了机械故障、FIB故障和激光诱导的故障，这些故障在外观上是相似的。