次级离子质谱法(SIMS)的工作原理是用离子轰击固体样品的表面，释放出带电的原子和分子，然后收集和分析。本文解释了SIMS除了固有的深度分析能力外，还具有检测元素周期表中所有元素的能力，使其成为半导体元件和材料表征和分析不可或缺的工具。并给出了几个应用实例。

深度剖析，元素分析，离子质谱仪，二次离子质谱法
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离子质谱仪 半导体晶圆制造 二次离子质谱法
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