先进的缺陷通过干细胞分析表征

本地化缺陷独一无二的失败可以几天,几周,甚至几个月,之后详细物理是在确定问题的根源进行分析。TEM和阀杆在这一过程中发挥互补作用;TEM由于其优越的空间分辨率和阻止,因为它产生的图像更容易解释,更容易出现色差厚样本。过去,使用干细胞在足总已经有限的由于成像模式之间切换所需的时间,但随着出现TEM /茎显微镜与计算机控制镜头,干细胞的使用正在增加。本文概述了干细胞技术和现在的例子展示如何使用它来形容ICs的微妙和复杂的缺陷。