使用脉冲激光锁定放大器可以增加扫描光学显微镜检测灵敏度的十倍。在这篇文章中,作者解释如何实现激光脉冲没有锁定放大器通过软件控制。检测灵敏度的方法,它是基于数字信号集成算法,已被证明是与实现锁定放大器。几个案例研究说明了定位技术的有效性不同类型的缺陷。

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2008年
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半导体晶圆 测试方法评估
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