平板x射线探测器用于医疗成像应用程序带来了挑战失败分析师由于产品的规模,技术的新鲜感,ICs相比相对较低的生产速度。这篇文章解释了现有工具被用来容纳这些探测器的大小和他们的特殊材料。讨论可能发生的缺陷的类型,以及它们是如何影响探测器特性至关重要。它描述了缺陷定位的基本方法和物理分析和提出了缺陷的例子对不同区域的平板x射线探测器。

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2008年
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x射线探测器 半导体晶圆
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