仁Furuya Nokuo武;错网站本地化技术通过与Nanoprobes成像。摘要技术文章2009年5月1日;11 (2):16 - 22。doi:https://doi.org/10.31399/asm.edfa.2009 - 2. p016
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本文讨论的优点SEM-based nanoprobing和不同的方式可以用来定位缺陷与集成电路有关的失败。它描述了电子束感生电流的基本测量物理,电子吸收,和电压分布对比成像和礼物的例子显示如何使用不同的方法来隔离低收入和高阻网站,短裤,并打开以及离子注入金属模式的缺陷。
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