磁电流成像是一种行之有效的故障隔离技术。卓越的灵敏度和分辨率加上磁场影响包装和模具材料使它成为一个有价值的FA各种集成电路和设备的工具。本文回顾了当前磁成像的基本物理测量,描述了一般实现,并提出了一些实际使用它的例子。

故障隔离,IC缺陷,当前磁成像,非接触测量
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2009年
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扫描探针显微镜 半导体晶圆
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