几乎所有的半导体材料表现出拉曼散射导致光子能量的频移。在这篇文章中,作者解释如何利用这种机制亚微米结构的测量温度,从而制作温度高分辨率的地图。他们审查喇曼散射的基本理论和目前的应用实例包括high-bandgap材料以及硅设备。

热点,拉曼光谱,温度测量
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2009年
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半导体晶圆 拉曼光谱
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