最好的空间分辨率,可以实现远场光学断层定位技术是20倍左右的临界缺陷尺寸45 nm制程技术节点。还有一个限制激光功率,可以安全地用于45 nm制程设备,进一步妥协故障定位精度。在这篇文章中,作者解释他们如何克服这些限制使用脉冲激光成像技术和屈光固体浸没透镜。两个案例研究表明脉冲激光扫描光学显微镜和固体浸没透镜提高定位精度和检测灵敏度。

检测灵敏度,故障定位,脉冲激光成像,固体浸没透镜,空间分辨率
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2010年
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半导体晶圆 测试方法评估
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