结合折射固体浸没透镜和脉冲激光诱导技术进行集成电路故障分析

利用远场光学故障定位技术可以获得的最佳空间分辨率约为45 nm技术节点上临界缺陷尺寸的20倍。在45 nm器件上可以安全使用的激光功率也有限制，这进一步降低了故障定位精度。在这篇文章中，作者解释了他们如何克服这些限制使用脉冲激光诱导成像技术和折射固体浸没透镜。两个案例研究展示了脉冲激光扫描光学显微镜和固体浸没透镜的组合如何提高定位精度和检测灵敏度。