本文提供了能量色散光谱(EDS)及其在半导体器件制造和故障分析中的各种用途的实际概述。它解释了EDS技术通常是如何实现的，比较和对比不同的方法，并讨论了决定空间和能量分辨率、测量深度、灵敏度、信噪比和易用性的因素。

元素分析，能量色散谱学，能量分辨率，能谱，空间分辨率，TEM-EDS，x射线探测器
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x射线探测器 半导体晶圆制造 能量色散x射线光谱学
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