本文提供了一个总结的四个用户组会议,发生在ISTFA 2011。总结覆盖关键参与者,演讲主题,讨论了从下列每组:第1组,聚焦离子束;组2、3 d包装和失效分析;组3,发现看不见的缺陷;和组4,Nanoprobing和电气特性。

ISTFA,用户组
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2012年
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主题
半导体晶圆
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