本文讨论的设置和使用thermoreflectance成像,热映射技术在亚微米范围的空间分辨率和时间分辨率几十纳秒。它描述的基本物理thermoreflectance测量方法的优势和局限性。它还提供了示例展示thermoreflectance成像用于热特性、设计优化和可靠性分析大功率晶体管,通过静电放电装置,和铜。

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2013年
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热成像仪 半导体晶圆 温度记录
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