在这篇文章中,作者解释他们如何能够减少停机时间和整体实验室成本通过设置工具维护计划和适应它。他们提供的例子的类型的预防性和纠正性维修要求FA工具运行保持在巅峰状态。他们还讨论的重要性,认识到需要外界的帮助和知道何时退休的一种工具。

预防性维护
这些内容只是作为一个PDF。
版权©ASM国际®201beplay体育官网地址3
2013年
beplay体育官网地址
主题
半导体晶圆
您目前没有访问这些内容。