第39届测试与失效分析国际研讨会(ISTFA 2013)于2012年11月3日至7日在加州圣何塞举行。本文提供了主题演讲、技术计划、小组讨论、教程、用户组会议和设备展示的摘要。

ISTFA
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半导体晶圆制造
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