固体浸没透镜在矽计量目标,第一部分:计量芯片和例子

计量目标必不可少的工具评价成像系统的性能和维护他们的准确性。理想情况下,模式的目标很简单,预期的形象直观,或者至少,轻松地模拟。尽管存在许多这样的目标为正视图成像,直到最近,几乎没有可以发现背后的应用程序。在本文中,由两部分组成的系列文章的第一篇,作者解释如何解决这种差距将现成的正视图背后的目标使用。一步一步描述的转换过程是在足够的细节可以被复制以转换其他正视图的目标。由于转换目标的成功,一个卸载,backside-specific版本随后被开发出来,它的可用性,不仅消除了更困难的步骤在最初的转换过程中,还提供了额外的好处。使用这些更新的目标之一,作者评估背后成像系统组成的激光扫描显微镜(LSM)和固体浸没透镜(SIL)。这里给出的结果与标准用于评价。其他应用程序的新的计量目标以及其局限性将在2015年5月期的讨论摘要。