原子力显微镜的新兴技术:金刚石铣削和静电力显微镜

原子力显微镜一直是一个一致的因素，在过去十年的进展在集成电路纳米探测和失效分析。在此期间，IC分析界采用了许多新的原子力测量技术，包括扫描电导、扫描电容、脉冲电流-电压和电容-电压光谱。最近出现了两种新技术:金刚石探针铣削和静电力显微镜(EFM)。正如本文作者所解释的那样，使用原子力显微镜的金刚石探针铣削是一种有前途的原位、局部、精确地去除IC层的新方法，而主动EFM是一种无损的替代EBAC显微镜的IC分析中开口定位的方法。