故障分析人员使用各种机器进行样品制备，其中许多是机械性质的。本文讨论了影响XY定位系统、旋转工作台和多轴机床精度、分辨率和可重复性的因素。它确定了关键的机器参数，并解释了环境影响、跳动和几何不准确性如何导致不确定性和定位误差。它还评估了精密度、准确度和可重复性所需的背面减薄和脱层系统。

精度，减少层级，可重复性，跳动，不确定性
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主题
样品制备 半导体晶圆制造 精度 可重复性 不确定性
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