曼弗雷德·芬克,杰里米•约翰逊,S.V.阮;正电子梁作为半导体行业有效的无损分析工具。摘要技术文章2017年5月1日;19 (2):10 - 20。doi:https://doi.org/10.31399/asm.edfa.2017 - 2. p010
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正电子能谱可以识别缺陷深处金属和半导体的分辨率比单个原子晶格的网站。本文讨论的基本原则和实现正电子湮没谱学和一个关键的发展使其更半导体应用程序更有用的工具。
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