本文讨论了扫描电子束技术的使用,如EBIC IBIC, OBIC edge-termination优化设计结构在垂直GaN和沃甘功率二极管。

EBIC,边缘终止妊娠,OBIC,宽禁带沃甘二极管
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2017年
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半导体晶圆 测试方法评估
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