扫描微波阻抗显微镜(sMIM)是一种相对较新的用于原子力显微镜中测试样品的电测量方法。本文介绍了sMIM技术用于测量不同半导体和介电材料的介电系数、掺杂浓度和纳米级C-V曲线的例子。它还解释了测量结果如何与理论模型进行比较，确认每种方法的有效性。

C-V曲线，介电系数，掺杂浓度，有限元建模，扫描微波阻抗显微镜
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显微镜 半导体晶圆制造 有限元分析 介电性能
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