电子束感生电流(EBIC)分析是一个通用的工具,可以使用任何访问SEM。本文解释了如何使用EBIC模式失败分析师sem检测结和氧化缺陷,简化结描述,揭示地下通过多层金属化损伤。

EBIC分析,EOS损害,故障隔离,连接描述,氧化缺陷
这些内容只是作为一个PDF。
版权©ASM国际®200beplay体育官网地址0
2000年
beplay体育官网地址
主题
半导体晶圆 扫描电子显微镜
您目前没有访问这些内容。