这是一个对光照敏感故障的案例研究。由于扫描光学显微镜的不可用性，故障隔离使用基于可用设备的不同方法进行。通过发射显微镜、FIB隔离、机械探测和深入电路分析相结合，确定了故障的根本原因和失效机理。

发射显微镜，FIB隔离，illumination-sensitive失败，机械探测
此内容仅以PDF格式提供。
版权所有©ASM Intbeplay体育官网地址ernational®2000
2000
beplay体育官网地址
主题
光电电子显微镜 半导体晶圆制造 根本原因分析
您目前没有访问此内容的权限。